7)65.星晓[12]_黑科技进修手册
字体:      护眼 关灯
上一章 目录 下一章
  八经搞科研的,有果的,经费肯定会拨下。”

  盛明安弯起眼:“谢谢教授。”

  张群芳:“没什么事我挂。”

  盛明安:“教授再见。”

  通话结束,之后还有潘教授、朱教授等人打电话安慰盛明安,足见他们有多关心这棵天才苗子。

  蓝河科技研发部,一尘不染的恒温实验室内,盛明安位位,身后是雷客、杜颂等人,他们都穿着白色防尘衣,攥紧拳头牢牢盯住屏幕的光刻机仿真建模。

  组装、封装,启动激光器,紫色激光发射,击中模拟锡液滴,高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形光源,光源集中、传递至光刻系统,经光刻系统一系列步骤曝光晶片。

  euv光源系统实工作,激光发射击中锡液滴这一过程是每秒五万次,而在仿真建模中,为方便观察,数据比例修改后变肉眼可观测。

  仿真建模观测一小时后,放大雕刻后的晶片,宛如一个个充满未感的城市。

  杜颂吞咽口水,紧张问:“怎么样?”

  雷客屏住呼吸:“仿真实验结果和初预料结果一致,如无意,方案可行。”

  身后传一阵激动的欢呼声,不过很快压下,众人纷纷看向没开口的盛明安,他才是实验室的心骨,他点头才算实验功!

  但不可避免的,他们刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼,紧张得几乎不能呼吸。

  无他,因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的果!

  无数夜的数据优、改进,从光源系统到光刻系统,从激光器到复杂的双工作台,从反射镜到晶圆等部件材料,海量的数据和磅礴的公式计算,一千多个夜的心血全数系在这一刻!

  盛明安盯着右手边的光屏,那是光源优仿真实验结果,结果表明优后的光源图形和收敛曲线与预料一致,说明——

  “方案可行。”

  作者有话要说:这章晚点补字数。

  请收藏:https://m.bimi9.com

(温馨提示:请关闭畅读或阅读模式,否则内容无法正常显示)

上一章 目录 下一章